Course Syllabus 2013/2014
 
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Module : ME307
Title :
TP MEMs
Number of hours :
Lecture : 15.00 h
Tutorial classes : 15.00 h
Individual work : 4.00 h
ECTS credits :
1.50
Level :
third year module
Abstract :
Ce module a pour objectif la sensibilisation des ingénieurs électroniciens à la conception et à la réalisation des futurs microsystèmes électro-mécaniques (MEMS). La formation est dispensée sous la forme d'un stage d'une semaine mi-théorique et mi-pratique, au laboratoire IXL. L'accent est mis sur les outils spécifiques et les techniques émergentes liées à ces composants particuliers de la microélectronique.
Plan :
A. PARTIE THEORIQUE A1. Présentation et domaine d'application des MEMS A2. Technologie des MEMS A3. Environnement de conception CADENCE A4. Simulation Thermo-Electro-Mécanique B. PARTIE PRATIQUE B1. Prise en main des outils B2. Spécification d'un accéléromètre B3. Simulation comportementale de l'accéléromètre B4. Simulation des modes de vibrations d'une poutre B5. Co-simulation ANSYS-CADENCE
Keyword(s) :
MEMS, MEMSCAP, ANSYS, CADENCE, MEMS Explorer